图字 :01-2014-1161 内容简介 从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源，低温射频等离子体在 各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相 互交叉的一个学科。本书主要聚焦在物理学方面，所以主要适用于应用物 理及电子工程专业的研究生及科研人员。 本书不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述，同时也包括一些等离 子体物理基础知识，如有界等离子体的输运及电学诊断。本书的风格有助 于激发读者学习的兴趣，帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实 例分析，将理论应用到实际问题中，并留有超过 100 道的简答题，让读者能 够快速掌握新知识，有信心解决与实验相关的物理问题。 Physics of Radio-Fγequency Plasmas , first edition (978-0-521 763004) by Pascal Chabert, Nicholas Braithwaite first published by Cam- bridge University Press 2011 All rights reserved. This simplified Chinese edition for the People` s Republic of China is published by arrangement with the Press Syndicate of the University of Cambridge, Cam丑巾 1 Science Press 2015 This book is in ∞pyright No reproduction of any p缸t may take place with out the written permissωn of Cambridge University Press and ::元ience Press This edition is for sale in the People` s Republic of China (excluding Hong Kong SAR, Macau SAR and Taiwan Province) only. 此版本仅限在中华人民共和国境内(不包括香港、澳门特别行政区及台 湾地区)销售。 图书在版编目 (CIP) 数据 射频等离子体物理学 /C 法)夏伯特 C Chabert, P. ), C 英)布雷斯韦特 CBraithwaite,N. )著;王友年，徐军，宋远红译. 北京:科学出版社， 2015.10 书名原文 :Physics of Radio-Frequency Plasmas ISBN 978-7-03-045919-0 1. ①射… II. ①夏…②布…③王…④徐…⑤宋… 皿.①射频等离 子体物理学凹.①053 中国版本图书馆 CIP 数据核字 (2015)第 238458 号 责任编辑:钱俊裴威/责任校对:钟洋 责任印制:徐晓晨/封面设计:陈 敬 4串 4事必烈且拱出版 北京东黄城根北街 16 号 邮政编码，1∞717 http://www.sciencep. cor丑 :Jl: i草 1革绊;t彩印刷有，~~~司印刷 科学出版社发行各地新华书店经销 2015 年 10 月第一版开本 :720XI000 B5 2015 年 10 月第一次印刷印张 :20 5/8 字数: 404000 定价 :128.00 元 (如有印装质量问题，我社负责调换)

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